| 发明名称 |
PLASMA CHEMICAL ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0669160(A) |
申请公布日期 |
1994.03.11 |
| 申请号 |
JP19920222816 |
申请日期 |
1992.08.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
HAMAMOTO KAZUTOSHI;UCHIDA SATOSHI;NAWATA YOSHIICHI;MURATA MASAYOSHI;TAKEUCHI YOSHIAKI |
| 分类号 |
C23F4/00;C30B33/12;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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