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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0668836(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920240021 申请日期 1992.08.17
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 SUGIMOTO RIKAO;NISHIBASHI TSUTOMU
分类号 G21K5/04;H01J37/05;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;H05H5/02;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
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