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发明名称 PIRANI GAUGE
摘要
申请公布号 JPH0666662(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920107224 申请日期 1992.04.27
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 KAKU AKIRA;YAGISHITA KOJI
分类号 G01L21/12;(IPC1-7):G01L21/12 主分类号 G01L21/12
代理机构 代理人
主权项
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