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发明名称 Phosporous effusion apparatus and method for molecular beam epitaxy
摘要
申请公布号 GB9400672(D0) 申请公布日期 1994.03.09
申请号 GB19940000672 申请日期 1994.01.14
申请人 CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS AND RIBER S.A.;RIBER SA 发明人
分类号 C23C14/24;C30B23/06 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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