发明名称 |
Growth of diamond films on silicon substrates with application of bias to substrate; tessellated patterns |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2270326(A) |
申请公布日期 |
1994.03.09 |
申请号 |
GB19930017830 |
申请日期 |
1993.08.27 |
申请人 |
* KOBE STEEL EUROPE LIMITED |
发明人 |
PAUL * SOUTHWORTH;DAVID STEPHEN * BUHAENKO;PETER JOHN * ELLIS;CAROLYN ELIZABETH * JENKINS;BRIAN RHYS * STONER |
分类号 |
C23C16/02;C23C16/27;C30B25/10;C30B25/18;(IPC1-7):C23C16/26;C30B25/02;C30B29/04 |
主分类号 |
C23C16/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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