发明名称 Growth of diamond films on silicon substrates with application of bias to substrate; tessellated patterns
摘要
申请公布号 GB2270326(A) 申请公布日期 1994.03.09
申请号 GB19930017830 申请日期 1993.08.27
申请人 * KOBE STEEL EUROPE LIMITED 发明人 PAUL * SOUTHWORTH;DAVID STEPHEN * BUHAENKO;PETER JOHN * ELLIS;CAROLYN ELIZABETH * JENKINS;BRIAN RHYS * STONER
分类号 C23C16/02;C23C16/27;C30B25/10;C30B25/18;(IPC1-7):C23C16/26;C30B25/02;C30B29/04 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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