发明名称
摘要
申请公布号 JPH069499(Y2) 申请公布日期 1994.03.09
申请号 JP19870096440U 申请日期 1987.06.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B04B3/00;F26B5/08;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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