| 发明名称 |
HIGH-FREQUENCY SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0665737(A) |
申请公布日期 |
1994.03.08 |
| 申请号 |
JP19910142795 |
申请日期 |
1991.06.14 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD;SEIKO INSTR INC |
发明人 |
IWAMI MUNENORI;KURIYAMA NOBORU;KURODA YOSHIKI |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/34;C23C14/40;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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