| 发明名称 |
SUBSTRATE FOR FORMING GASEOUS PHASE SYNTHETIC DIAMOND FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0665758(A) |
申请公布日期 |
1994.03.08 |
| 申请号 |
JP19920241214 |
申请日期 |
1992.08.18 |
| 申请人 |
MURAKAWA MASAO;TAKEUCHI SADAO;MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
MURAKAWA MASAO;TAKEUCHI SADAO |
| 分类号 |
C23C26/00;C30B29/04;(IPC1-7):C23C26/00 |
主分类号 |
C23C26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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