发明名称 PRODUCTION OF N-DOPED SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0664914(A) 申请公布日期 1994.03.08
申请号 JP19920242778 申请日期 1992.08.19
申请人 MITSUBISHI CORP 发明人 TAKAHASHI AKIRA
分类号 C01B33/02;H01L21/26;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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