| 发明名称 |
METAL PROBE FOR SCANNING MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0666557(A) |
申请公布日期 |
1994.03.08 |
| 申请号 |
JP19920219092 |
申请日期 |
1992.08.18 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SUZUKI KAZUO;KOBAYASHI TERUNORI |
| 分类号 |
C23F11/00;G01B7/34;G01B21/30;G01Q60/16;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
C23F11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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