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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0665734(A)
申请公布日期
1994.03.08
申请号
JP19920222817
申请日期
1992.08.21
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
MURATA MASAYOSHI;TAKEUCHI YOSHIAKI
分类号
C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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