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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0618235(B2)	申请公布日期	1994.03.09
申请号	JP19850296346	申请日期	1985.12.24
申请人	ROHM KK	发明人	MITSUMOTO KAZUFUMI
分类号	H01L23/522;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90	主分类号	H01L23/522
代理机构		代理人
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