APPARATUS FOR PRODUCING ULTRAPURE WATER,申请号JP19920210090-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR PRODUCING ULTRAPURE WATER
摘要
申请公布号	JPH0655164(A)	申请公布日期	1994.03.01
申请号	JP19920210090	申请日期	1992.08.06
申请人	RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	OYAGI ATSUSHI;BAN KOJI;FUKUMOTO HAYAAKI
分类号	B01D19/00;C02F1/20;(IPC1-7):C02F1/20	主分类号	B01D19/00
代理机构		代理人
主权项
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