SOG COMPOSITION AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE BY USING THIS COMPOSITION,申请号JP19920211898-传众专利搜索

发明名称	SOG COMPOSITION AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE BY USING THIS COMPOSITION
摘要
申请公布号	JPH0656560(A)	申请公布日期	1994.03.01
申请号	JP19920211898	申请日期	1992.08.10
申请人	SONY CORP	发明人	TANAKA YASUSHI
分类号	C04B41/85;H01L21/316;(IPC1-7):C04B41/85	主分类号	C04B41/85
代理机构		代理人
主权项
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