| 发明名称 |
PRODUCTION OF PZT THIN FILM AND SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0657412(A) |
申请公布日期 |
1994.03.01 |
| 申请号 |
JP19920281156 |
申请日期 |
1992.09.28 |
| 申请人 |
ANELVA CORP;NEC CORP |
发明人 |
HIRATA KAZUO;HASE TAKU;SAKUMA TOSHIYUKI;MIYASAKA YOICHI |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/34;H01B3/00;H01B3/12;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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