FORMATION OF TANTALUM OXIDE THIN FILM,申请号JP19920212471-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF TANTALUM OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH0657432(A)	申请公布日期	1994.03.01
申请号	JP19920212471	申请日期	1992.08.10
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	SHIBUYA MUNEHIRO;KITAGAWA MASATOSHI;KAMATA TAKESHI;HIRAO TAKASHI
分类号	C01G35/00;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40	主分类号	C01G35/00
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