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发明名称 FINE PARTICLE USE MACHINING METHOD AND FINE PARTICLE USE PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0655450(A) 申请公布日期 1994.03.01
申请号 JP19920234232 申请日期 1992.08.10
申请人 SONY CORP 发明人 KOBAYASHI SHIGEO
分类号 B24C3/22;B24C9/00;(IPC1-7):B24C3/22 主分类号 B24C3/22
代理机构 代理人
主权项
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