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发明名称 VACUUM TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0657416(A) 申请公布日期 1994.03.01
申请号 JP19920238908 申请日期 1992.08.14
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 MORI KATSUHIKO;SUDO SATORU;KUROKAWA KUNIAKI;SHIMIZU YASUO;ICHIYAMA MASAHIRO;ONO SHINICHI;OGATA HIDEYUKI
分类号 C23C14/26;C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
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