发明名称 PRODUCTION OF SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0656596(A) 申请公布日期 1994.03.01
申请号 JP19920207794 申请日期 1992.08.04
申请人 SHARP CORP 发明人 FURUKAWA MASAKI;TAJIMA YOSHIMITSU;SUZUKI AKIRA
分类号 C30B23/00;C30B29/36;(IPC1-7):C30B29/36 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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