| 发明名称 |
LIQUID ETCHANT FOR NEGATIVE-ACTING PHOTORESIST ETCHING OF CHALCOGENIDE GLASS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2008285(C1) |
申请公布日期 |
1994.02.28 |
| 申请号 |
SU19914947003 |
申请日期 |
1991.06.20 |
| 申请人 |
INSTITUT POLUPROVODNIKOV AN UKRAINY |
发明人 |
INDUTNYJ IVAN Z;KOSTYUKEVICH SERGEJ A;SHEPELYAVYJ PETR E |
| 分类号 |
C03C15/00;C03C23/00;(IPC1-7):C03C15/00 |
主分类号 |
C03C15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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