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发明名称 DEVICE FOR THERMAL OXIDATION OF SILICON PLATES
摘要
申请公布号 RU535771(C) 申请公布日期 1994.02.28
申请号 SU19731885159 申请日期 1973.02.19
申请人 VOINOV R.V.;GLUSHCHENKO V.N.;MOROKHOV N.L.;FARBER YU.A. 发明人 VOINOV R.V.;GLUSHCHENKO V.N.;MOROKHOV N.L.;FARBER YU.A.
分类号 C30B31/06;(IPC1-7):C30B31/06 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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