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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0653463(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920205407 申请日期 1992.07.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SATO KIYOSHI
分类号 G01J1/02;H01L27/14;(IPC1-7):H01L27/14 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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