| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0653249(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
JP19920203500 |
申请日期 |
1992.07.30 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
KOIKE KENICHI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/338;H01L29/48 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
