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发明名称 INSPECTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0653296(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920202363 申请日期 1992.07.29
申请人 NEC CORP 发明人 KUNIBA FUMIHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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