发明名称 FORMATION OF THIN FILM CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0653406(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920200767 申请日期 1992.07.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MURAI TOMOHIKO;TAKEBAYASHI MIKIO
分类号 H01F17/00;H01G4/40;H01L21/822;H01L27/01;H01L27/04;H03H7/01;H05K1/16;(IPC1-7):H01L27/01 主分类号 H01F17/00
代理机构 代理人
主权项
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