发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0653251(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920225244 申请日期 1992.07.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOJIMA YOSHIKI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址