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发明名称 IMPURITY DOPING METHOD AND CARRIER CONCENTRATION CONTROL METHOD BY IMPURITY DOPING
摘要
申请公布号 JPH0653257(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19930020913 申请日期 1993.02.09
申请人 NEC CORP 发明人 SONE SHUJI
分类号 H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/363 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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