| 发明名称 |
AUTOMATIC ANALYZING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0652819(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
JP19920202314 |
申请日期 |
1992.07.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AOYAMA TAKASHI;MISAWA YUTAKA |
| 分类号 |
H01J37/252;H01J37/26;H01J37/295;H01J49/26;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/252 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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