| 发明名称 |
AUTOMATIC WEIGHING SYSTEM FOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0650803(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
JP19920205225 |
申请日期 |
1992.07.31 |
| 申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
MURAOKA TAKATOSHI;NISHIO AKIRA;YAGI AKIO;KAWAMOTO AKIRA |
| 分类号 |
G01G23/01;G01B21/08;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01G23/01 |
主分类号 |
G01G23/01 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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