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发明名称 PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH0653174(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920220623 申请日期 1992.07.28
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 UEDA YOICHI;KOMINO MITSUAKI
分类号 C23C16/46;B01J3/02;C23F4/00;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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