| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0653103(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
JP19920206421 |
申请日期 |
1992.08.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAJI TETSUNORI;OGAWA YOSHIFUMI;FUJII TAKASHI;KAWAHARA HIROYOSHI;SAIKAI MASAHARU;NISHIHARA TOMOYOSHI;TABATA HIROYUKI;UMEMOTO TSUYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/02;F17D5/00;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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