发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0653483(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920205595 申请日期 1992.07.31
申请人 SONY CORP 发明人 MORIYA HIROYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/41;(IPC1-7):H01L29/44;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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