发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR OPTIMUM SCANNING OF TWO-DIMENSIONAL SURFACE OF ONE OR MORE OBJECTS
摘要
申请公布号 JPH0653178(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19930145217 申请日期 1993.06.16
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 SHIYAAMAN PORUTONII
分类号 C23F1/08;G03F7/20;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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