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发明名称
ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0652823(A)
申请公布日期
1994.02.25
申请号
JP19920203297
申请日期
1992.07.30
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
OBATA TATSUYA
分类号
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
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