| 发明名称 |
PROCEDE DE REVETEMENT DE SUBSTRATS PAR DEPOT EN PHASE VAPEUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2636079(B1) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
FR19890011675 |
申请日期 |
1989.09.06 |
| 申请人 |
SCHOTT GLASWERKE |
发明人 |
VOLKER PAQUET;ULRICH ACKERMANN;HEINZ-W. ETZKORN;RALF TH. KERSTEN;UWE RUETZE |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/458;C23C16/511;C23C16/52;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50;C23C4/00;C23C14/22 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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