发明名称 WAFER FORK AND ITS MANUFACTURE METHOD
摘要
申请公布号 JPH0653303(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920205293 申请日期 1992.07.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIODA TAKESHI
分类号 B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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