发明名称 SURFACE SHAPE MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH0650732(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19910118474 申请日期 1991.05.23
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KATO MASAHIKO;SEKIGUCHI SHURI;KURITA HIROYUKI;KAWASHIMA TAKASHI;KAWAKAMI KAZUO;UETAKE TOSHIFUMI
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01J1/04;G01M11/00;G02B27/28;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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