LOW-PRESSURE PROCESSING DEVICE,申请号JP19920222063-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	LOW-PRESSURE PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0653304(A)	申请公布日期	1994.02.25
申请号	JP19920222063	申请日期	1992.07.29
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	DEGUCHI YOICHI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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