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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0653192(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920202149 申请日期 1992.07.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MIHASHI AKIO;NAKAYAMA ICHIRO;ITSUNOI DAISUKE;MORI HAJIME
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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