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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0653182(A)
申请公布日期
1994.02.25
申请号
JP19920203299
申请日期
1992.07.30
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
YOSHIDA MASARU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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