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经营范围
发明名称
PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0653171(A)
申请公布日期
1994.02.25
申请号
JP19920201384
申请日期
1992.07.28
申请人
SONY CORP
发明人
NAGAYAMA TETSUJI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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