发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0653204(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920201185 申请日期 1992.07.28
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 TANAKA SHINJI
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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