| 发明名称 |
FORMATION METHOD OF WIDE ION BEAM AND ITS IMPLANTATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0652816(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
JP19930050181 |
申请日期 |
1993.02.16 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
EDOWAADO KIRUBII MATSUKINTAIYAA JIYUNIA;BIKUTAA MOORISU BENBENISUTE;UORUTAA HIRINIKU |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/54;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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