发明名称 Verfahren zum Herstellen von Monosilan.
摘要
申请公布号 DE68907631(T2) 申请公布日期 1994.02.24
申请号 DE19896007631T 申请日期 1989.04.07
申请人 MITSUBISHI KASEI CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 WADA, KEISUKE, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;HAJI, JUNZO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;YOKOTAKE, ICHIRO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C01B33/04;C07F7/04;(IPC1-7):C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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