发明名称 MULTILAYER RY-FILM POSITIVE ACTING PHOTORESIST
摘要
申请公布号 KR940001551(B1) 申请公布日期 1994.02.24
申请号 KR19850009798 申请日期 1985.12.26
申请人 MINNESOTA MINING & MFG. CO. 发明人 BAIKSLAND, JONE P.
分类号 G03C1/00;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/039;G03F7/095;H01L21/027;H05K3/06;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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