发明名称 Verfahren zur Abscheidung von Halbleitermaterial
摘要
申请公布号 CH429673(A) 申请公布日期 1967.02.15
申请号 CH19610002004 申请日期 1961.02.20
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHMIDT,OTTO;SIRTL,ERHARD,DR.
分类号 C01B33/035;C22B41/00;C23C16/24;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
地址