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发明名称 Selective area chemical vapour deposition.
摘要
申请公布号 EP0434227(B1) 申请公布日期 1994.02.23
申请号 EP19900312726 申请日期 1990.11.22
申请人 CVD INCORPORATED 发明人 KEELEY, JOSEPH T.;GOELA, JITENDRA SINGH;PICKERING, MICHAEL;TAYLOR, RAYMOND L.
分类号 C23C16/04;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;(IPC1-7):C23C16/04 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
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