| 发明名称 |
PRODUCTION OF OXIDE FERROELECTRIC THIN FILM AND OXIDE FERROELECTRIC MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0648895(A) |
申请公布日期 |
1994.02.22 |
| 申请号 |
JP19920200061 |
申请日期 |
1992.07.28 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
WATANABE SHUNJI;FUJIO HISAMITSU |
| 分类号 |
C30B25/18;C30B23/02;C30B29/22;H01B3/00;(IPC1-7):C30B29/22 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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