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发明名称 Procédé de fabrication de circuits intégrés
摘要
申请公布号 FR1474311(A) 申请公布日期 1967.03.24
申请号 FR19660054614 申请日期 1966.03.23
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M. B. H. 发明人 SCHUETZE HANS-JUERGEN;HENNINGS KLAUS
分类号 H01L21/00;H01L21/68;H01L29/06 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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