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发明名称 FULLY RECESSED INTERCONNECTION SCHEME WITH TITANIUM-TUNGSTEN AND SELECTIVE CVD TUNGSTEN
摘要
申请公布号 KR940001395(B1) 申请公布日期 1994.02.21
申请号 KR19900072631 申请日期 1990.12.15
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO. 发明人 RIAO, KUANWAI;CHAU, U. SHI;CHIN, MAU - PONG;RODES, CHALS S.
分类号 (IPC1-7):H01L21/90 主分类号 (IPC1-7):H01L21/90
代理机构 代理人
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